キヤノン グループ3社、さまざまな分野で培った成膜技術を集約した「Adastra」など半導体製造装置を、SEMICON Japan で紹介

キヤノン株式会社、グループ会社のキヤノンアネルバ株式会社、キヤノンマシナリー株式会社とともに、SEMICON Japan 2025（2025年12月17日～12月19日、会場：東京ビッグサイト）に出展し、半導体製造の多様化に対応する装置などを展示紹介しました。

1937年創業、世界屈指の精密機器メーカーであり、キヤノングループのグローバル本社です。カメラやオフィス向け複合機で培った圧倒的な「光学・イメージング技術」を核に、現在は事業の多角化を加速。半導体露光装置などの産業機器、CT・MRIなどのメディカルシステム、ネットワークカメラなどの新領域へ注力しています。企業理念「共生」のもと、BtoCからBtoBまで幅広い分野で社会課題の解決に取り組んでいます。

さまざまな分野で培った成膜技術を集約し、ユーザーのニーズに合わせ、プロセスモジュールを自由に選択可能
シングルコア⇔デュアルコアの変更含め、各フェーズに合わせて柔軟な装置構成の選択・変更が可能

従来機と比較し、フットプリントを42%削減（3.3m × 4.2m @シングルコア）

従来機と比較し、市水使用量を55%削減、エネルギー由来のCO₂排出量を24%削減

メンテナンスの作業性向上、リアルタイムモニタリングによる予知保全

Wide DOFから高解像まで幅広くラインナップを拡充した小型基板向けステッパー

フルサイズCISセンサをスティッチングレスで露光出来る世界で唯一のKrFスキャナー

広画力・高解像力で多様なデバイス製造に対応するi線ステッパー

大型四角基板対応と解像力1.0マイクロメートルを両立したパネルステッパー

ハイパフォーマンスコンピューティング向け大画角パッケージングウエハーステッパー

線幅10nm台の回路パターンを低コストで実現する次世代半導体製造装置

当日は、「MREAL（エムリアル）」で仮想空間の半導体製造装置に触れる体験コーナーを設けて来場者に体験していただきました。